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中國科學(xué)院西安光學(xué)精密機(jī)械研究所感應(yīng)耦合等離子體刻蝕設(shè)備招標(biāo)公告
日期:2024-05-21    項(xiàng)目收藏    下載招標(biāo)公告
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招標(biāo)概要
 
項(xiàng)目名稱:感應(yīng)耦合等離子體刻蝕設(shè)備

預(yù)算金額:390.000000 萬元(人民幣)

最高限價(jià)(如有):390.000000 萬元(人民幣)

采購需求:

包號(hào)

標(biāo)的名稱

采購包預(yù)算金額

(萬元)

數(shù)量

簡要技術(shù)需求或服務(wù)要求

是否允許采購進(jìn)口產(chǎn)品

01

感應(yīng)耦合等離子體刻蝕設(shè)備

390

1項(xiàng)(套)

感應(yīng)耦合等離子刻蝕設(shè)備(ICP刻蝕機(jī))主要用于微電子、光電子、通訊、微機(jī)等領(lǐng)域的器件研發(fā)和制造中半導(dǎo)體薄膜的刻蝕,服務(wù)于高性能大規(guī)模光子集成芯片研究,主要由反應(yīng)腔、射頻源、氣路系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、下電極、真空系統(tǒng)等構(gòu)成,主要技術(shù)指標(biāo)如下:

*1、晶圓尺寸:8英寸,向下兼容;

*2、SiO2、SiN刻蝕垂直度:>85°;

*3、刻蝕均勻性:<±5%;

(具體技術(shù)需求詳見第五章采購需求)

合同履行期限:合同簽訂后6個(gè)月內(nèi)

本項(xiàng)目( 不接受 )聯(lián)合體投標(biāo)。

二、申請(qǐng)人的資格要求:

1.滿足《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規(guī)定;

2.落實(shí)政府采購政策需滿足的資格要求:

(1)《關(guān)于調(diào)整優(yōu)化節(jié)能產(chǎn)品、環(huán)境標(biāo)志產(chǎn)品政府采購執(zhí)行機(jī)制的通知》(財(cái)庫〔2019〕9號(hào));

(2)《關(guān)于開展政府采購信用擔(dān)保試點(diǎn)工作的通知》(財(cái)庫【2011】124號(hào));

(3)關(guān)于印發(fā)《政府采購促進(jìn)中小企業(yè)發(fā)展管理辦法》的通知(財(cái)庫【2020】46號(hào));

(4)《財(cái)政部、司法部關(guān)于政府采購支持監(jiān)獄企業(yè)發(fā)展有關(guān)問題的通知》(財(cái)庫【2014】68號(hào));

(5)《財(cái)政部、民政部、中國殘疾人聯(lián)合會(huì)關(guān)于促進(jìn)殘疾人就業(yè)政府采購政策的通知》(財(cái)庫〔2017〕141號(hào))。

3.本項(xiàng)目的特定資格要求:1.供應(yīng)商須符合中華人民共和國政府采購法第二十二條之規(guī)定、《中華人民共和國政府采購法施條例》十七條之規(guī)定、《中華人民共和國財(cái)政部令第87號(hào)令》相關(guān)規(guī)定:2.落實(shí)政府采購政策需滿足的資格要求:2.1 中小企業(yè)政策本項(xiàng)目不專門面向中小企業(yè)預(yù)留采購份額。2.2 其它落實(shí)政府采購政策的資格要求:/3.本項(xiàng)目的特定資格要求:3.1必須是在中華人民共和國注冊的企事業(yè)單位,具有獨(dú)立法人資格且具有有效營業(yè)執(zhí)照(帶二維碼或其它有效形式);且有能力提供本次采購服務(wù)的供應(yīng)商;3.2供應(yīng)商必須購買《招標(biāo)文件》并登記備案,否則無資格參加本次投標(biāo);3.3本項(xiàng)目不接受聯(lián)合體投標(biāo);3.4供應(yīng)商不得為“信用中國”網(wǎng)站中列入失信被執(zhí)行人和重大稅收違法案件當(dāng)事人名單的供應(yīng)商,不得為中國政府采購網(wǎng)政府采購嚴(yán)重違法失信行為記錄名單中被財(cái)政部門禁止參加政府采購活動(dòng)的供應(yīng)商(處罰決定規(guī)定的時(shí)間和地域范圍內(nèi));3.5法律法規(guī)所規(guī)定的其它要求。

三、獲取招標(biāo)文件

時(shí)間:2024年05月21日 至 2024年05月28日,每天9:30至11:30,下午13:30至16:00。(北京時(shí)間,法定節(jié)假日除外)

……

售價(jià):¥500.0 元,本公告包含的招標(biāo)文件售價(jià)總和

四、提交投標(biāo)文件截止時(shí)間、開標(biāo)時(shí)間

提交投標(biāo)文件截止時(shí)間:2024年06月12日 09點(diǎn)30分(北京時(shí)間)

開標(biāo)時(shí)間:2024年06月12日 09點(diǎn)30分(北京時(shí)間)

本招標(biāo)項(xiàng)目僅供正式會(huì)員查閱,您的權(quán)限不能瀏覽詳細(xì)信息,請(qǐng)點(diǎn)擊注冊/登錄,聯(lián)系工作人員辦理入網(wǎng)升級(jí)。

聯(lián)系人:徐煜
手機(jī):13520858862 (歡迎撥打手機(jī)/微信同號(hào))
郵箱:xuyu@dlzb.com
電話:010-59435695
QQ:1784703670

 

日期:2024-05-21 【編輯:信息中心】

 

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